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整机被江成整饬得非常不错，一些小问题，都解决了，就是外观，也有封装板，整的有点像高科技光刻机一样了。

就是那种一看，就觉得这东西高端，不是随随便便整出来的。

当然，实验的结果也非常不错，在江成带领大伙继续优化调整，特别是把每一个步骤应当以什么速率，运行多少时间等工艺进行优化后，总体光刻成效是不错的。

而且通过实验性质的一次多重曝光，最终工艺最小节点达到了32n

白春华是华科院院长，对这一块还是有了解的，在亲自查看了测量参数后，双手激动的不得了，“是真的，我们的光刻机真的突破了，28n工艺，就在眼前！”

通过浸没系统，把193n激光波长整到了132n一次曝光就可以达到最小工艺45n

在经过多重曝光技术，就可以挺进32n28n制程。

易国彬也是抬着大拇指给了江成，“我就知道，你小子入主魔都微，一定能够给我们一个惊喜的，没想到这么快就看到了！”

一旁的贺明老脸一红，“易部长，您说得对，江董在光刻机领域的研究，真的是华国独一人，这一块，我是极为敬佩的！”

易国彬点点头，“行了，知道你这一次没给研发添乱，今后还是好好配合好江董吧。”

“明白的。”贺明应了声。

现如今，江成整出了浸没式光刻机，他在魔都微的地位更加牢固了。

那些股东们，怎么可能会把江成换掉？

唉，算了，做个执行者也是不错的。

江成微微笑着，“这里还是太压抑了，白院长、易部长，咱们回会议室吧。”

“嗯。”两人带着笑容点点头。

随后，又和这些研发工程师们一一握手，表达了感谢。

这才一同换去了实验服，到了魔都微的董事会会议室。

“江董，现在来看，达到28n工艺，难不难？”易国彬先问了一句，他毕竟不是专业的，虽然了解一些，但目前看到的是实现了32n艺。

江成解释道，“从45n艺到28n需要fab工厂工程师这边共同提升工艺水平，通过多重曝光的技术来实现。这个技术，实现难度不大。”

“那就好。”易国彬有些放心了。“现如今，互联网上已经传开了，咱们研发出来了28n国产光刻机，广大网民翘首以盼，我们不能让他们失望啊！”

江成微微点头，“这个我们明白的，目前我们在对这款样机进行再优化，同时已经批量采购了一批部件，届时可以供应国内外fab工厂。”

“价格要多少？”白春华问。

“目前还在做调研核算，因为样机这一块，我们是改进了数十次，成本核算这一块会困难一些。”江成道，暂时没有透露价格，“但我相信，比起阿斯麦耳的duv光刻机，还是要省钱不少的。”

白春华点点头，“那就好，验收时候，初定9月下旬，来得及吗？”

“验收没问题，我们的样机随时可以。”

“成，那我们就在国庆前给大家一个好消息！”白春华看了一眼易国彬，笑着说道。

整机验收，联盟会组织一批更专业的人，包括国内fab厂的技术代表也会过来，这样可以一起看看，这机子成不成，能不能商用上。

易国彬又问了一句，“下一步，江董有什么打算了？”

“目前来说，就是出货一批3200a型，”江成大概地说道，“明年的话，在改进这个版本的基础上，我想就euv光刻机，启动研发。”

届时，江成打算去找过一个地方。